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优 质、 服 务 、信 用 !经营单位:深圳亚威华公司 销售部电话:0755-25887166,25887236 传真:25887232
 
适用于半导体行业
 
 FP-260型
 
 
 特点
 

半导体工业净化间的理想检测仪器

理想的低浓度气体检测仪器(PPb级)

抗干扰性强

使用插入式盒式纸带,更换方便

盒式纸带剩余量显示

 
 
 
 规格
 
类型
台式、可移动
检测原理
使用盒式纸带的光电度法原理
检测纸带
盒式纸带、VHS型快速更换型盒带
电源和能耗
AC100V,AC115V,AC220V,50/60Hz
(在检测状态耗能为35VA,在纸带卷动时耗能为60VA)
尺寸·重量
约275(W)×220(H)×275(D)mm,约12kgs
 
 检测气体和范围
 
检测气体
TLV值
检测范围
分辩率
磷烷(PH3)
300ppb
0-900ppb
5
硅烷(SiH4)
5ppm
0-15ppm
0.25
乙硼烷(B2H6)
100ppb
0-300ppb
5
砷烷(A3H3)
50ppb
0-150ppb
1
乙硅烷(Si2H6)
5ppm
0-10ppm
0.1
硫化氢(H2S)
10ppm
0-100ppb
1
氯气(Cl2)
0.5ppm
0-100ppb
1
硒化氢(H2Se)
50ppb
0-300ppb
2
 
 
 FP-300型
 

CE认证

 
 特点
 

体积小,结构紧凑

适用于测量低浓度气体(ppb级),灵敏度高

检测不受干扰

使用插入式盒式检测带,更换方便

检测带剩余量显示检测带用完提示报警

 
 
 规格
 
检测原理
   光电光度测量法
检测纸带
   插入式盒式纸带
检测范围
   见检测气体表
精度
   显示值的±20%+1以内
检测带使用时间
   1个月(无报警)
报警点
   第1和第2报警
自我诊断功能
   传感器故障,流量低,检测带故障,检测带耗尽警告,检测带安装错误
外部输出
  4-20mA(****回路电阻为300Ω)
电源
   AC100,110,117,220V或DC24V,订购时需指定其中一种
工作温度湿度
   5℃~35℃,30~+9090%RH(无凝结)
尺寸·重量
  164(W)×198(H)×263(D),台式重6.5kg
  164(W)×164(H)×261(D),盘装式重5.5kg
 
 可检测气体
 
气体名称
检测范围
NH3
0.5-4ppm
Cl2
0-0.8ppm(*)
0-1.5ppm
AsH3
0-150ppb
B2H6
0-300ppb
HCI
0.25-1ppm
1.5-8ppm
HF
0-9ppm
H2S
0-10ppm
0-100ppm
PH3
0-500ppb(*)
0-900ppb
SiH4
0-8ppm
0-15ppm
(仅例出代表性气体) 注:(*)清洁器使用
 
 SC-90型
 
 
CE认证
 
 特点
 

内置微处理器控制
LCD数字显示
自我诊断显示
泵吸式采样系统
轻便型检测仪
峰值保持和平均值显示
声/光报警
数据记录输出

 
 
 
 规格
 
检测原理
电化学原理
检测气体和范围
见检测气体表
浓度显示
连续测量值,平均值和峰值显示
控制功能
微处理器控制
显示
点阵LCD显示,带自动照
精度
±10%以内
反应时间
30秒以内(当通入3倍报警点浓度的气体时)
采样方式
内置隔膜泵,吸入式采样
使用湿度
-10℃~+40℃,小于90%RH
连续使用时间
碱性电池(标准)约20个小时,Ni-Cd充电电池(选购)约10小时(在无报警和照明下)
尺寸·重量
220(W)×200(H)×320(D)mm,约6kg
 
 检测气体(代表性气体)
 
检测气体
检测范围
报警设定值
磷烷(PH3)
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
0.3ppm
砷烷(AsH3)
0-15.00ppm(1刻度0.05ppm)
0.3ppm
硅烷(SiH4PH3)
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
5ppm
乙硼烷(B2H6)
0-30.0ppm(1刻度0.05ppm)
10ppm
氯化氢(HCL)
0-5.00ppm(1刻度0.05ppm)
2ppm
氟化氢(HF)
0-9.0ppm(1刻度0.05ppm)
3ppm
 
※ 一台SC-90型检测仪能检测一种指定的气体,表中未列出的气体请与本公司联系
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