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　适用于半导体工业
 
 
　特点
 

● 工业半导体净化室的理想检测仪器
● 更适于低浓度气体检测(ppm级)
● 抗干扰性强
● 盒式带取放简便
● 盒带剩余量显示
 
　规格
 
类型
台式，可搬运型
检测原理
光电光度学原理用于盒式纸带
检测盒带
VHS型可更换盒式带
电源和
耗电量
AC220V 50/60Hz
检测时：35VA 供带时：60VA
尺寸·重量
275(W)×220(H)×370(D)mm 约12Kgs
 
　检测气体名称
 
检测气体
TLV值
检测范围
解析度
磷 PH3
300ppb
0-900ppb
5
四氢化硅 SiH4
5ppm
0-15ppm
0.25
乙硼烷 B2H6
100ppb
0-300ppb
5
胂 AsH3
50ppb
0-150ppb
1
乙硅烷 SiH6
5ppm
0-10ppm
0.1
硫化氢HS2
10ppm
0-100ppm
1
光气 COCl2
100ppb
0-300ppb
2
氯气 Cl2
0.5ppm
0-100ppb
1
硒化氢 H2Se
50ppb
0-300ppb
2
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