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　适用于半导体工业
 
 
　特点
 

● 内装微机能进行自动调整和自我诊断
● LCD液晶显示
● 小型、轻量设计
● 带峰值保持和测平均值功能
● 声/光双重报警功能
● 记录输出(1～5VDC)
 
　规格
 
检测原理
定电位电解方式
检测气体和范围
见下表
检测方式
连续检测/平均值检测/峰值检测
控制功能
微机控制
显示
LCD自照明
指示精度
±10%FS以内
反应时间
30秒内(气体浓度超3倍报警设定值时)
采样系统
隔膜内置泵
使用温/湿度
-10℃～+40℃，低于90%RH
连续使用时间
碱性干电池20小时，Ni-Cd电池10
小时(无报警照明时)可连接AC外接电源
尺寸·重量
200(W)×80(H)×142(D)mm 约1.9Kg
 
　检测气体名称
 
检测气体
检测范围
报警设定值
磷 (PH3)
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
0.3ppm
胂 (AsH3)
0-1.00ppm(1刻度0.05ppm)
0.3ppm
四氢化硅 (SiH4)
0-15.0ppm(1刻度0.5ppm)
5ppm
乙硼烷 (B2H6)
0-30.0ppm(1刻度0.5ppm)
10ppm
氯化氢 (HCl)
0-5.00ppm(1刻度0.05ppm)
2ppm
氟化氢(HF)
0-9.0ppm(1刻度0.5ppm)
3ppm
 
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